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    Huace-4簡易探針臺的產品特點及應用

    日期:2023-09-12瀏覽:1639次

    Huace-4簡易探針臺

    產品簡介:

    探針臺是一種輔助執行機構,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精準扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機導通,通過測試機測試人員可以得到所需要的電性能參數。

    產品特點及應用:

    ◆ 滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等;

    ◆ 可用于6英寸以內樣品測試;

    ◆ 同軸絲杠傳動結構,線性移動;

    ◆ 可放置于手套箱內使用;

    ◆ 形狀輕巧,操作方便,價格實惠。

    技術參數

    臺體規格

    尺寸

    4英寸/6英寸

    水平旋轉

    360°旋轉,可微調15°,精度0.1°,帶角度鎖死裝置

    X-Y移動行程

    2英寸×3英寸

    X-Y移動精度

    10μm

    樣品臺Z軸調節

    可升降10mm

    樣品固定

    真空吸附,中心吸附孔,多圈吸附環

    針座平臺

    左右各一個針座平臺,**可放置6個探針座

    背電極測試

    樣品臺電學獨立懸空,4mm插孔可接背電極

    外形尺寸

    400mm長*380mm寬*500mm高

    設備重量

    20KG

    光學系統

    顯微鏡類型

    單筒顯微鏡/體式顯微鏡

    放大倍率

    16X-200X

    移動行程

    水平方向繞立柱360°旋轉,Z軸50.8毫米

    光源

    外置LED無極調節亮度環形光源

    CCD

    200萬像素/500萬像素/1200萬像素


    定位器

    X-Y-Z移動行程

    12mm*12mm*12mm

    移動精度

    10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

    吸附方式

    磁力吸附,真空吸附

    線纜

    同軸線/三軸線

    漏電精度

    10pA/100fA/10fA

    固定探針

    彈簧固定/管狀固定

    接頭類型

    BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

    針尖直徑

    0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

    針尖材質

    鎢鋼;鈹銅

    可選附件:

    加熱臺;
    顯示器;
    轉接頭;
    射頻測試配件;

    屏蔽箱;

    光學平臺;
    鍍金卡盤;
    光電測試配件;




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